080903-微电子学与固体电子学

微电机系统设计与制造

1991-09--1993-06   纽约州立大学布法罗分校电子工程系   光电子学硕士
1988-09--1991-06   复旦大学电子工程系   微电子学及微电机系统博士
1985-09--1988-06   复旦大学电子工程系   微电子学硕士
1981-09--1985-06   复旦大学电子工程系   半导体物理与器件学士

   

2011-03~现在, 中科院地质与地球物理研究所, 研究员
2000-04~2011-03,Honeywell International Inc., Principle Engineer
1997-07~2000-04,Input/Output Inc., Senior Design Engineer
1996-01~1997-07,Texas Instruments, Design Engineer
1993-06~1995-12,GP:50 New York Limited, Research Engineer
1991-09~1993-06,纽约州立大学布法罗分校电子工程系, 光电子学硕士
1988-09~1991-06,复旦大学电子工程系, 微电子学及微电机系统博士
1985-09~1988-06,复旦大学电子工程系, 微电子学硕士
1981-09~1985-06,复旦大学电子工程系, 半导体物理与器件学士

   

（ 1 ） 一种MEMS高灵敏度横向加速度计及其制造工艺, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL201310304676.5 

（ 2 ） Symmetrical MEMS Accelerometer and its fabrication process, 2017, 第 1 作者, 专利号: US 9759740

（ 3 ） MEMS Anti-Phase vibratory gyroscope, 2017, 第 1 作者, 专利号: US 9618342

（ 4 ） 一种MEMS陀螺仪及其制造工艺, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201310221525.3 

（ 5 ） 一种MEMS检测装置及其制造工艺, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201310304674.6

（ 6 ） 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201310221840.6 

（ 7 ） 一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201310221698.5

（ 8 ） Accelerometer and its fabrication technique, 2016, 第 2 作者, 专利号: US 9476903

（ 9 ） 一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201310182168.4

（ 10 ） Accelerometer and its fabrication technique, 2015, 第 2 作者, 专利号: US 9170271

（ 11 ） Method of creating a micro electro-mechanical systems accelerometer using a single double silicon-on-insulator wafer, 2013, 第 1 作者, 专利号: US 8481354

（ 12 ） Single Silicon-on-insulator(SOI) wafer acceleromter fabrication, 2011, 第 1 作者, 专利号: US 8057690

（ 13 ） Silicon SOI wafer accelerometer fabrication process, 2011, 第 1 作者, 专利号: US 7976714

（ 14 ） Method of making dimple structure for prevention of MEMS device stiction, 2009, 第 1 作者, 专利号: US 7482192

（ 15 ） Comb structure fabrication methods and systems, 2009, 第 1 作者, 专利号: US 7479402

（ 16 ） MEMS vertical comb drive with improved vibration performance, 2008, 第 2 作者, 专利号: US 7469588

（ 17 ） System and method for uniform multi-plane silicon oxide layer formation for optical applications, 2008, 第 1 作者, 专利号: US 7442589

（ 18 ） High performance MEMS packaging architecture, 2007, 第 2 作者, 专利号: US 7238999

（ 19 ） Integrated and multi-axis sensor assembly and packaging, 2006, 第 5 作者, 专利号: US 7152473

（ 20 ） Vibrating beam accelerometer, 2006, 第 1 作者, 专利号: US 70724934

（ 21 ） Vibrating beam accelerometer two-wafer fabrication process, 2005, 第 1 作者, 专利号: US 6938334

（ 22 ） Accelerometer with folded beams, 2004, 第 3 作者, 专利号: US 6805008

（ 23 ） Merged-mask micro-machining process, 2003, 第 1 作者, 专利号: US 6617098

（ 24 ） Temporary bridge for micro machined structures, 2002, 第 1 作者, 专利号: US 6458513

（ 25 ） Dual axis micro machined mirror device, 2002, 第 2 作者, 专利号: US 6454421

（ 26 ） Micro machined mirror, 2001, 第 2 作者, 专利号: US 6315423

（ 27 ） 具有过载保护的岛膜结构, 1989, 第 2 作者, 专利号: CN88201030.1

（ 28 ） 梁膜硅压力传感器, 1989, 第 2 作者, 专利号: CN88211369.0

（ 29 ） 哑铃型梁膜结构, 1988, 第 2 作者, 专利号: CN88211370.4

（ 30 ） 双岛梁膜结构, 1988, 第 2 作者, 专利号: CN88211371.2

   

（1） Sensors and actuators, Vol.A28, No.2, 105-112, 1991, 第 1 作者
（2） Sensors and Actuators,Vol.A21-A23, 137-141, 1990, 第 2 作者
（3） Sensors and Actuators, Vol.19, No.1, 23-31, 1989, 第 2 作者
（4） Sensors and Actuators, Vol.A18, No.3/4, 219-229, 1989, 第 3 作者

   

（ 1 ） MEMS加速度传感器规模化制造技术与苏子检波器集成-新型MEMS加速度传感器芯片设计与制备技术, 参与, 国家任务, 2011-01--2016-01